Дочерняя компания Binhua Group, Dasheng Core Materials, успешно запустила массовое производство фтористого водорода высокой чистоты класса 6N, предназначенного для производства чипов с технологическим процессом ниже 28 нм. Этот прорыв позволяет обойти иностранную монополию на рынке химических реагентов для травления полупроводников.
Binhua Group объявила об этом достижении через свою дочернюю компанию Dasheng Core Materials. Фтористово водород является незаменимым химическим составом для процессов травления и очистки при изготовлении передовых чипов размером менее 28 нм. Прорыв был официально сертифицирован 19 июля во время презентации продукта в городе Биньчжоу, провинция Шаньдун, что восполняет дефицит мощностей по производству фтористого водорода высокой чистоты в регионе и укрепляет отечественную цепочку поставок для производства чипов.
Фтористово водород известен как «химический режущий инструмент» полупроводниковой индустрии. Класс 6N определяет чистоту на уровне 99,9999%, при этом содержание примесей основных металлов не превышает 1 ppb, что соответствует международным стандартам высшего класса. Хотя разница между классами 5N и 6N кажется незначительной в десятичных знаках, она критична на практике: повышение уровня металлических примесей всего на несколько ppb в процессе производства чипов может привести к значительному снижению выхода годной продукции. В настоящее время около 80% мирового рынка фтористого водорода высокой чистоты класса 6N контролируется зарубежными компаниями, а цена превышает 2 миллиона юаней за тонну. Большинство внутреннего производства было ограничено классом 5N, что делало класс 6N классическим узким местом для обеспечения независимости китайской цепочки поставок полупроводников.
Технологический прорыв представляет собой не единичный успех, а комплексную инновацию, охватывающую четыре ключевые области: многотрубная дистилляция, выбор материалов оборудования с низким осаждением, защита цилиндров от загрязнения и высокоточное обнаружение следовых примесей. Эти технологии совместно решают проблему вторичного загрязнения на этапах производства, хранения и транспортировки. Компания завершила строительство и ввод в эксплуатацию линии по заполнению цилиндров фтористого водорода высокой чистоты мощностью 50 тонн в год и получила лицензию на заполнение цилиндров от Института специального оборудования провинции Шаньдун 16 июля, тем самым получив полную квалификацию для всей цепочки — от лаборатории до промышленного использования.
Коммерческая значимость выходит за рамки одного продукта. Высокочистый фтористово водород стал первым продуктом электронной специальной химии, запущенным Binhua Group, что ознаменовало выход компании в сегмент дорогостоящих электронных химикатов. Рыночная стоимость фтористого водорода класса 6N, превышающая 2 миллиона юаней за тонну, с высокой добавленной стоимостью, будет способствовать трансформации региональной химической промышленности в сторону высокотехнологичной электронной химии. Продукт уже представлен ключевым отраслевым предприятиям, и началось взаимодействие с первыми клиентами.
Этот прорыв является очередным шагом к самообеспечению Китая в области материалов для полупроводников. Несмотря на значительный прогресс страны в разработке чипов и производственном оборудовании, специализированная электронная химия, включая газы для травления высокой чистоты, полировальные суспензии и фоторезисты, остается сконцентрированной у поставщиков из Японии, Южной Кореи и США. Каждая отечественная база производства класса 6N уменьшает одну точку уязвимости в цепочке поставок в условиях все более напряженной глобальной полупроводниковой конкуренции. Мощность в 50 тонн в год обеспечивает значительную первоначальную базу производства для отечественных фабрик, стремящихся обеспечить критически важные расходные материалы для передового производственного процесса.
