Высокочистый PFA, который является фторполимером, незаменимым для современного оборудования мокрого процесса в полупроводниковой промышленности, находится в центре внимания в связи с усилением стремления Китая к локализации цепочки поставок полупроводников. Этот материал критически важен для изготовления химически стойких трубок, фитингов, клапанов и контейнеров, используемых в процессах очистки пластин, травления и химико-механической полировки.
Способность материала сопротивляться загрязнениям на уровне экстремальной чистоты напрямую влияет на выход годных чипов на передовых технологических узлах. Локализация производства PFA внутри страны происходит на фоне расширения мощностей мировыми производителями чипов памяти и ускорения инвестиций в передовую логическую обработку.
Исторически рынок высокочистого PFA контролировался несколькими крупными мировыми химическими компаниями, обладающими многолетним опытом в производстве ультрачистых фторполимеров. Материал должен соответствовать очень строгим стандартам, включая крайне низкое извлечение ионов металлов, контроль количества частиц и стабильность механических свойств в каждой партии. Эти требования оказались технически сложными для новых участников рынка.
Несколько китайских химических компаний достигли стадии верификации партий. Их продукты проходят квалификационные испытания у производителей полупроводникового оборудования и операторов фабрик. Процесс проверки обычно занимает несколько кварталов и включает тесты ускоренного старения, анализы химической совместимости, измерения сброса частиц и проверку производительности непосредственно на оборудовании заказчика. Успешная верификация позволит китайским производителям оборудования закупать этот критически важный материал внутри страны, тем самым уменьшая зависимость от зарубежных поставщиков и сокращая сроки поставок, которые из-за ограничений в глобальном оборудовании могут достигать 12–24 месяцев.
Потенциал рынка весьма значителен, поскольку каждая передовая полупроводниковая фабрика нуждается в больших объемах высокочистого PFA для систем доставки химикатов, мокрых рабочих мест и инфраструктуры очистки сточных вод. Поскольку Китай строит множество новых пластинчатых фабрик в рамках инициатив по обеспечению самодостаточности в полупроводниках при поддержке правительства, внутренний объем рынка PFA растет пропорционально. По оценкам отрасли, спрос на фторполимеры полупроводникового класса в Китае может превысить несколько миллиардов юаней ежегодно в течение пяти лет.
Технологическая сложность этого производства нельзя недооценивать. Производство высокочистого PFA требует специализированных процессов полимеризации, сырья ультравысокой чистоты, выделенных производственных линий, свободных от перекрестного загрязнения, а также сложных систем контроля качества, способных обнаруживать примеси на уровне частей на триллион. Стадия верификации является важнейшей вехой, однако для достижения массового производства с постоянным качеством по конкурентным ценам могут потребоваться дополнительные инвестиции в специализированную производственную инфраструктуру. Если местные поставщики смогут успешно пройти фазы верификации и масштабирования, высокочистый PFA может стать еще одним примером в более широкой стратегии локализации материалов в полупроводниковой промышленности Китая, которая уже добилась заметного прогресса в сегментах фоторезистов, травящих газов и суспензий CMP.
Индустрия компонентов полупроводникового оборудования Китая достигает критической точки развития. Этот рост обусловлен увеличением спроса, вызванным расширением инфраструктуры искусственного интеллекта, наращиванием внутреннего производства пластин и геополитическим давлением на цепочки поставок.
Компания ACM Research (盛美上海) продемонстрировала первый системный уровень верификации полностью локализованной цепочки поставок полупроводникового оборудования, собрав два процесса полупроводникового оборудования с использованием исключительно отечественных компонентов.
Стремление к использованию внутренних компонентов продиктовано рядом факторов. Спрос на вычисления с помощью ИИ распространяется от памяти HBM и графических процессоров до оборудования для инспекции, управления питанием и передовой упаковки. SEMI прогнозирует, что инвестиции в оборудование для памяти размером 300 мм превысят 50 миллиардов долларов в 2026 году.
Производственная мощность Китая в области пластин увеличилась с 2% мирового объема в 2000 году до 17% в 2020 году. SEMI ожидает, что к 2030 году доля Китая достигнет трети мирового объема. На основном узле 22-40 нм ожидается, что доля Китая составит 37% в 2026 году и 42% к 2028 году.
Параллельно ужесточаются экспортные ограничения США на критически важное оборудование и компоненты, что делает обеспечение безопасности цепочек поставок жизненно важной задачей.
На объекте Lingang компании ACM Research теперь реализованы возможности верификации всех категорий процессов, включая очистку, гальваническое нанесение, покрытие фоторезистом, трубчатые печи и процессы PECVD. Критические стандартные компоненты, такие как магнитные роторные насосы, нагреватели и фильтры, достигли значительных успехов в полной локализации.
ACM Research не является единственным игроком: крупные китайские производители оборудования, включая New Kailai (新凯来), AMEC (中微公司), Piotech (拓荆科技) и Hwatsing Technology (华海清科), активно ускоряют процесс локализации компонентов.
К основным категориям компонентов относятся кварцевые детали (уровень локализации более 10%), генераторы РЧ, вакуумные насосы (5-10%), клапаны, чашки и кольца для обработки краев. Foxconn Precision (富创精密) завершила валидацию у клиентов и начала массовое производство пластин распределения газа и специальных покрытий, планируя сосредоточиться на нагревательных пластинах и клапанах в 2026 году.
Siconix (神工股份), один из немногих отечественных производителей, обладающих полной способностью от «роста кристалла до готового кремниевого электрода», поставляет оборудование для травления лидерам рынка, таким как AMEC и NAURA. Feilihua (菲利华), поставщик кварцевых материалов, сертифицированный для Applied Materials, Lam Research и Tokyo Electron, соответствует самым высоким стандартам сертификации, требующим цикла квалификации обычно в 2–3 года.
Китайские производители компонентов начинают расширять свое присутствие на мировом рынке. Foxconn Precision получила доступ к международным клиентам благодаря инвестициям в Compart Systems. Siconix снабжает крупных японских и корейских производителей кремниевых компонентов, которые работают с Samsung, SK Hynix, Intel и TSMC.
Эта двойная стратегия, сочетающая «следование за оборудованием» и «независимое расширение», позволяет китайским производителям компонентов перейти от простого замещения импорта к глобальному экспорту.
