Fluorpolimer bo'lgan yuqori toza PFA yarimo'tkazgich sanoatidagi zamonaviy nam jarayon uskunalari uchun ajralmasdir va Xitoyning yarimo'tkazgich ta'minot zanjirini mahalliy lashtirishga kuchayib borayotgan intilishlari tufayli diqqat markazida turibdi. Bu material plitalarni tozalash, o'qish va kimyo-mexanik polirovka jarayonlarida ishlatiladigan kimyoviy moddalarga chidovchi trubkalar, fiтингlar, klapanlar va konteynerlarni tayyorlash uchun juda muhimdir.
Materialning ekstremal tozalik darajasidagi ifloslantirishlarga chidashi, ilg'or texnologik tugunlardagi sifatli chiplar chiqishiga bevosita ta'sir qiladi. PFA ishlab chiqarishining mamlakat ichida mahalliy lashtirilishi global xotira chiplarini ishlab chiqaruvchilarining quvvatlarini kengaytirish va ilg'or mantiqiy qayta ishlashga sarmoyalarni tezlashtirish fonida sodir bo'lmoqda.
Tarixan yuqori toza PFA bozori ko'p yillik tajribaga ega bir nechta yirik jahon kimyo kompaniyalari tomonidan nazorat qilinardi. Material juda qattiq standartlarga javob bermoqda, jumladan, metall ionlarining juda past ajralib chiqishi, zarrachalar miqdorini nazorat qilish va har bir partiyada mexanik xususiyatlarning barqarorligi. Ushbu talablar bozordagi yangi ishtirokchilar uchun texnik jihatdan murakkab bo'ldi.
Bir nechta xitoy kimyo kompaniyalari partiyalarni tasdiqlash bosqichiga erishdi. Ularning mahsulotlari yarimo'tkazgich uskuna ishlab chiqaruvchilari va fabrikalar operatorlari tomonidan malaka sinovlaridan o'tadi. Tekshirish jarayoni odatda bir necha chorakni oladi va tezlashgan qarish sinovlari, kimyoviy moslik tahlillari, zarracha sochilishini o'lchash va mijozning uskunasi ustida samaradorlikni tekshirishni o'z ichiga oladi. Muvaffaqiyatli tasdiqlash xitoy uskuna ishlab chiqaruvchilariga bu muhim materialni mamlakat ichida sotib olish imkonini beradi, shu bilan chet el yetkazib beruvchilarga bog'liqlikni kamaytiradi va global uskunalar cheklovlari tufayli 12-24 oyga yetib boradigan yetkazib berish muddatlarini qisqartiradi.
Bozor potentsiali juda katta, chunki har bir ilg'or yarimo'tkazgich fabrikasi kimyoviy moddalar yetkazib berish tizimlari, nam ish stansiyalari va chiqindi suvni tozalash infratuzilmasi uchun katta hajmdagi yuqori toza PFA ga muhtoj. Xitoy hukumat qo'llab-quvvatlashi ostida yarimo'tkazgichlarda mustaqillikni ta'minlash bo'yicha tashabbuslar doirasida ko'plab yangi plitalik fabrikalarni qurayotgani sababli, PFA bozorining ichki hajmi proporsional ravishda o'sib bormoqda. Sanoat baholariga ko'ra, Xitoydagi yarimo'tkazgich sinfidagi fluorpolimerlarga bo'lgan talab besh yil davomida har yili bir necha milliard yuanadan oshishi mumkin.
Bu ishlab chiqarishning texnologik murakkabligini kam baholash mumkin emas. Yuqori toza PFA ishlab chiqarish maxsus polimerlash jarayonlarini, ultra yuqori tozalikdagi xom ashyo, kesish-kesish kontaminatsiyadan xoli ishlab chiqarish liniyalarini va trilyonlarda qismlar darajasidagi ifloslantirishlarni aniqlay oladigan murakkab sifat nazorati tizimlarini talab qiladi. Tasdiqlash bosqichi eng muhim bosqich hisoblanadi, ammo barqaror sifat bilan raqobatbardosh narxlarda massiv ishlab chiqarishga erishish uchun maxsus ishlab chiqarish infratuzilmasiga qo'shimcha sarmoya kiritish talab qilinishi mumkin. Agar mahalliy yetkazib beruvchilar tasdiqlash va kengaytirish bosqichlarini muvaffaqiyatli bosib o'tsa, yuqori toza PFA yarimo'tkazgich sanoatida materiallarni mahalliy lashtirishning kengroq strategiyasining yana bir misoli bo'lishi mumkin, bu strategiya allaqachon fotorezistlar, o'qish gazlari va CMP suspensiyalari segmentlarida sezilarli taraqqiyotga erishgan.
Xitoy mikroelektronika uskunalari komponentlari sanoati tanqidiy rivojlanish nuqtasiga yetib bormoqda. Bu o'sish sun'iy intellekt infratuzilmasini kengaytirish, ichki ishlab chiqarish hajmini oshirish va ta'minot zanjirlariga geopolitik bosim tufayli yuzaga kelmoqda.
ACM Research (盛美上海) kompaniyasi to'liq mahalliy ta'minot zanjirining birinchi tizimli darajadagi tasdiqlashini namoyish etdi, u faqat mahalliy komponentlardan foydalangan holda ikkita yarimo'tkazgich uskuna jarayonini birlashtirdi.
Ichki komponentlardan foydalanish istagi bir qator omillar bilan belgilanadi. AI yordamida hisoblashga bo'lgan talab HBM va grafik protsessorlardan tortib, tekshirish, quvvat boshqaruvi va ilg'or qadoqlash uskunalargacha tarqalmoqda. SEMI 2026 yilda 300 mm miqyosidagi xotira uskunalari uchun investitsiyalar 50 milliard dollardan oshishini prognoz qilmoqda.
Xitoyning plitalar sohasidagi ishlab chiqarish quvvati 2000 yildagi global hajmining 2% dan 2020 yilda 17% gacha oshdi. SEMI 2030 yilga kelib Xitoyning global hajmdagi ulushining uchdan birini tashkil etishini kutmoqda. 22-40 nm asosiy tugunida 2026 yilda Xitoyning ulushi 37%, 2028 yilgacha esa 42% ni tashkil etishi kutilmoqda.
Shu bilan birga, AQSh tomonidan muhim uskuna va komponentlarga eksport cheklovlari qattiqroq bo'lib bormoqda, bu esa ta'minot zanjirlarining xavfsizligini ta'minlashni hayotiy vazifa qilmoqda.
ACM Research ning Lingang ob'ektida hozirda tozalash, galvanik qoplash, fotorezist qoplash, trubkali pechlar va PECVD jarayonlari kabi barcha turdagi jarayonlarni tasdiqlash imkoniyatlari amalga oshirilgan. Magnit reaktiv nasoslar, isitgichlar va filtrlar kabi muhim standart komponentlar to'liq mahalliy ishlab chiqarishda sezilarli yutuqlarga erishdi.
ACM Research yagona o'yinchiga aylanamagan: New Kailai (新凯来), AMEC (中微公司), Piotech (拓荆科技) va Hwatsing Technology (华海清科) kabi yirik xitoy ishlab chiqaruvchilari ham komponentlarni mahalliy ishlab chiqarish jarayonini faol ravishda tezlashtirmoqda.
Komponentlarning asosiy kategoriyalari kvarts qismlari (mahalliy ishlab chiqarish darajasi 10% dan ortiq), RF generatorlari, vakuum nasoslari (5-10%), valflar, chekka qayta ishlash uchun idishlar va halqalar hisoblanadi. Foxconn Precision (富创精密) mijozlarida validatsiyani yakunladi va gaz taqsimlash plitalari hamda maxsus qoplamalarni masshtabli ishlab chiqarishni boshladi, 2026 yilda isitish plitalari va valflarga e'tibor qaratishni rejalashtirmoqda.
Faqatgina mahalliy ishlab chiqaruvchilardan biri bo'lgan Siconix (神工股份) kristall shakllanishidan tayyor silitsiy elektrodigacha to'liq imkoniyatga ega bo'lib, AMEC va NAURA kabi bozordagi yetakchilarga gravering uskunasini yetkazib beradi. Applied Materials, Lam Research va Tokyo Electron uchun sertifikatlangan kvarts materiallari yetkazib beruvchisi Feilihua (菲利华) eng yuqori sertifikatlash standartlariga javob beradi, bu odatda 2-3 yillik malaka oshirish siklini talab qiladi.
Xitoy komponent ishlab chiqaruvchilari dunyo bozoridagi mavqei o'zini kengaytirishni boshladi. Foxconn Precision Compart Systems ga investitsiya qilish orqali xalqaro mijozlarga kirishdi. Siconix Samsung, SK Hynix, Intel va TSMC bilan ishlaydigan yirik yapon va koreys silitsiy komponent ishlab chiqaruvchilariga texnik vositalarni yetkazib beradi.
Bu ikki tomonlama strategiya, ya'ni 'uskunani kuzatish' va 'mustaqil kengayish'ni birlashtirish, xitoy komponent ishlab chiqaruvchilariga oddiy importni almashtirishdan global eksportga o'tish imkonini beradi.
